苏州中特微电子科技有限公司
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苏州中特微电子科技有限公司成立于2021年9月,工厂位于苏州市吴江区江陵街道交通路1188号,研发中心位于重庆北碚区水土高新园区方正大道266号。公司是苏州吴江崇本人才孵化类重点项目及姑苏创业领军人才计划重点项目,先后荣获中国仪器仪表学会科技进步二等奖、机械工业科技进步二等奖和重庆市科技进步二等奖。

作为专注于智能高速光刻设备的高科技企业,苏州中特微为晶圆与光学器件加工厂提供全自动紫外光刻设备及一体化解决方案,核心产品包括UVLED平行光源模组、全自动接近式光刻机、半自动双面套刻光刻机及移动掩模曝光机等。其中,全自动接近式光刻机已批量应用于三安光电、兆驰股份、华灿光电和睿创微纳等上市公司并持续复购,光显示领域出货量位居国内**,彰显了国产光刻机的成熟度与市场竞争力。

公司核心技术团队源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院,自主攻克了UVLED多自由曲面精确配光、自适应有限时间抗干扰控制的视觉闭环伺服系统、双视场闭环骨架匹配视觉对位算法等关键技术。产品曝光尺寸覆盖1/2/4/6/8/12英寸晶圆及方片,产能达200片/小时,套刻精度±0.5μm,支持智能工厂接口对接,并可依据客户需求个性化定制,广泛应用于LED、功率器件、MEMS和光学微纳加工等领域。